الركيزة رقاقة الكوارتز
ركائز رقاقة الكوارتز عبارة عن رقائق مصنوعة بشكل أساسي من-الكوارتز عالي النقاء (SiO₂)، وتستخدم على نطاق واسع في أشباه الموصلات، والإلكترونيات الضوئية، والأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة (MEMS)، والأجهزة البصرية، وغيرها من المجالات.
الوصف
خصائص المواد
- درجة نقاء عالية:يُصنع عادةً من الكوارتز الاصطناعي (على سبيل المثال، السيليكا المنصهرة)، بدرجة نقاء عالية للغاية (أكبر من أو يساوي 99.99%) وبحد أدنى من الشوائب لتجنب التأثير على أداء الجهاز.
- الاستقرار الحراري:معامل منخفض للتمدد الحراري (≈0.55×10⁻⁶/ درجة) ومقاومة درجات الحرارة العالية- (نقطة التليين ~1600 درجة)، مناسب لعمليات درجات الحرارة العالية-.
- الأداء البصري:نطاق نقل واسع (الأشعة فوق البنفسجية إلى الأشعة تحت الحمراء)، مع نفاذية استثنائية للأشعة فوق البنفسجية، مثالي للأقنعة الضوئية والعدسات وما إلى ذلك.
- الخمول الكيميائي:مقاوم للأحماض والقلويات (باستثناء حمض الهيدروفلوريك)، ومناسب لعمليات الحفر الرطبة.
- العزل الكهربائي:High resistivity (>10¹⁶ Ω·cm)، مثالي لعزل الركائز أو الأجهزة ذات التردد العالي-.
التطبيقات
تصنيع أشباه الموصلات
- ركائز القناع الضوئي
- مكونات الطباعة الحجرية بالأشعة فوق البنفسجية
- ناقلات معالجة الرقاقات
الضوئيات والالكترونيات الضوئية
- ركائز الدليل الموجي البصري
- تركيب صمام ثنائي ليزر
- مكونات الحوسبة الكمومية
تطبيقات التخصص
- قواعد مرنان MEMS
- بصريات التلسكوب الفضائي
- أنظمة ليزر عالية الطاقة-.
عملية التصنيع
- تركيب المواد الخام:يتم إنتاجه عن طريق ترسيب البخار (على سبيل المثال، أكسدة SiCl₄) أو تنقية الكوارتز الطبيعي.
- ذوبان وتشكيل:-ذوبان بدرجة حرارة عالية يتبعه تبريد إلى سبائك أو سحب مباشر إلى قضبان.
- القطع:يتم تقطيعها إلى شرائح رفيعة باستخدام المناشير السلكية الماسية أو القطع بالليزر.
- طحن وتلميع:يحقق التلميع الميكانيكي الكيميائي (CMP) مستوى نانومتري- من النعومة.
- التنظيف والتفتيش:إزالة الجسيمات والملوثات المعدنية، يليها اختبار العيوب والمعلمات.
ملكيات
|
الخصائص الفيزيائية |
قيم |
|
نقاء |
＞99.99% |
|
كثافة |
2.2 جرام/سم33 |
|
الشفافية |
＞90% |
|
صلابة موس |
5.5--6.5 |
|
نقطة التشوه |
1280 درجة |
|
نقطة التليين |
1750 درجة |
|
نقطة التلدين |
1250 درجة |
|
الحرارة النوعية (20 - 350 درجة ) |
670 جول/كجم. درجة |
|
الموصلية الحرارية (20 درجة) |
1.4 واط/م. درجة |
|
الموصلية الحرارية (ث/مك، 1000 درجة) |
1.0-1.2 |
|
معامل الانكسار |
1.4585 |
|
معامل التمدد الحراري |
5.510 -7سم/سم. درجة |
|
درجة حرارة العمل الساخنة -. |
1750-2050 درجة |
|
درجة حرارة الخدمة على المدى القصير - |
1450 درجة |
|
درجة حرارة الخدمة لمدة - طويلة |
1100 درجة |
|
الخواص الكيميائية |
قيم |
|
مقاومة للأحماض |
حمض قوي (باستثناء HF)، قلوي قوي، محلول عضوي |
|
درجات الحرارة العالية مقاومة للتآكل |
ممتاز |
|
محتوى الشوائب المعدنية |
<5 جزء في المليون |
|
الخصائص الكهربائية |
قيم |
|
المقاومة |
7107Ω.سم |
|
قوة العزل |
250 ~ 400 كيلو فولت / سم |
|
ثابت العزل الكهربائي |
3.7~3.9 |
|
معامل امتصاص العازل |
＜410-4 |
|
معامل فقدان العزل الكهربائي |
＜110-4 |
|
الخواص الميكانيكية |
قيم |
|
قوة ضاغطة |
1100 ميجا باسكال |
|
قوة الانحناء |
67 ميجا باسكال |
|
قوة الشد |
48 ميجا باسكال |
|
نسبة بواسون |
0.14~0.17 |
|
معامل يونغ |
72000 ميجا باسكال |
|
معامل القص |
31000 ميجا باسكال |
التعليمات
س 1: ما هو الحد الأقصى لحجم ركائز رقاقة الكوارتز المتاحة؟
ج: إنتاج قياسي يصل قطره إلى 300 مم، مع نماذج أولية مقاس 450 مم متاحة للبحث والتطوير.
Q2: هل يمكنك توفير ملفات تعريف سمك مخصصة؟
ج: نعم - يمكننا إنتاج:
- الرقائق الإسفينية (لتطبيقات الليزر)
- تصميمات مدببة دقيقة
- ميسا-أسطح منظمة
س3: ما هو بروتوكول التنظيف الذي توصي به؟
ج: عملية تنظيف RCA القياسية:
1. الإزالة العضوية (H₂SO₄:H₂O₂)
2. التنظيف الأيوني (حمض الهيدروكلوريك: H₂O₂)
3. HF-الأخير للسطح المحب للماء
الوسم : الركيزة رقاقة الكوارتز، الصين الركيزة رقاقة الكوارتز المصنعين والموردين والمصنع
إرسال التحقيق
قد يعجبك ايضا
