قارب تنظيف رقاقة الكوارتز
قارب تنظيف بسكويت الويفر الكوارتز هو جهاز يستخدم لتنظيف الويفر في عملية تصنيع أشباه الموصلات.
المادة: 99.99% كوارتز
الوصف
سمات
- مقاومة درجات الحرارة العالية
- مقاومة التآكل
- ارتداء المقاومة
- سهل التنظيف
الاستخدام: إزالة الملوثات السطحية
التأكد من جودة تصنيع رقائق أشباه الموصلات.
طلب
1. ما قبل-تنظيف الانتشار
يُستخدم لنقل الرقاقات من خلال خطوات التنظيف الرطبة أو خطوات التنظيف بالغمر (على سبيل المثال، تنظيف RCA) لإزالة الملوثات العضوية والمعدنية والجسيمية قبل -عمليات الانتشار أو الأكسدة ذات درجات الحرارة العالية.
2. ما بعد تنظيف -CMP (الاستواء الميكانيكي الكيميائي).
يحمل الرقاقات أثناء عمليات التنظيف بعد-التلميع للتخلص من بقايا الملاط وعيوب السطح، مما يضمن التسطيح الأمثل لخطوات الطباعة الحجرية اللاحقة.
3. الواجهة الأمامية-النهاية-لتصنيع الخط (FEOL)
يتم استخدامه في مراحل تنظيف FEOL الحرجة حيث يلزم-أسطح نظيفة للغاية لنمو أكسيد البوابة، أو الترسيب الفوقي، أو زرع الأيونات.
4. رجوع-نهاية-معالجة الخط (BEOL)
يدعم الرقاقات أثناء التنظيف بعد-الحفر أو ما بعد الترسيب- لإزالة مقاوم الضوء والمنتجات الثانوية للحفر والشوائب المعدنية بعد تكوين التوصيل البيني.
5. التغليف المتقدم
يسهل تنظيف مستوى الرقاقة- قبل التقطيع أو الربط في عبوات IC 2.5D/3D، مما يضمن واجهات خالية من التلوث -لاتصالات موثوقة.
6. صناعة الخلايا الكهروضوئية
يستخدم في إنتاج الخلايا الشمسية لتنظيف ركائز السيليكون، وتحسين جودة السطح لتحسين امتصاص الضوء وكفاءة تحويل الطاقة.
ملكيات
|
الخصائص الفيزيائية |
قيم |
|
نقاء |
＞99.99% |
|
كثافة |
2.2 جرام/سم33 |
|
الشفافية |
＞90% |
|
صلابة موس |
5.5--6.5 |
|
نقطة التشوه |
1280 درجة |
|
نقطة التليين |
1750 درجة |
|
نقطة التلدين |
1250 درجة |
|
الحرارة النوعية (20 - 350 درجة ) |
670 جول/كجم. درجة |
|
الموصلية الحرارية (20 درجة) |
1.4 واط/م. درجة |
|
الموصلية الحرارية (ث/مك، 1000 درجة) |
1.0-1.2 |
|
معامل الانكسار |
1.4585 |
|
معامل التمدد الحراري |
5.510 -7سم/سم. درجة |
|
درجة حرارة العمل الساخنة -. |
1750-2050 درجة |
|
درجة حرارة الخدمة على المدى القصير - |
1450 درجة |
|
درجة حرارة الخدمة لمدة - طويلة |
1100 درجة |
|
الخواص الكيميائية |
قيم |
|
مقاومة للأحماض |
حمض قوي (باستثناء HF)، قلوي قوي، محلول عضوي |
|
درجات الحرارة العالية مقاومة للتآكل |
ممتاز |
|
محتوى الشوائب المعدنية |
<5 جزء في المليون |
|
الخصائص الكهربائية |
قيم |
|
المقاومة |
7107Ω.سم |
|
قوة العزل |
250 ~ 400 كيلو فولت / سم |
|
ثابت العزل الكهربائي |
3.7~3.9 |
|
معامل امتصاص العازل |
＜410-4 |
|
معامل فقدان العزل الكهربائي |
＜110-4 |
|
الخواص الميكانيكية |
قيم |
|
قوة ضاغطة |
1100 ميجا باسكال |
|
قوة الانحناء |
67 ميجا باسكال |
|
قوة الشد |
48 ميجا باسكال |
|
نسبة بواسون |
0.14~0.17 |
|
معامل يونغ |
72000 ميجا باسكال |
|
معامل القص |
31000 ميجا باسكال |
طرق التنظيف
تنظيف الغمر:
ضع الرقاقة في قارب التنظيف، ثم اغمر قارب التنظيف في سائل التنظيف، وقم بزيادة الاتصال بين سائل التنظيف وسطح الرقاقة عن طريق رفع قارب الرقاقة لتحسين تأثير التنظيف.
تنظيف الرش:
ضع قارب التنظيف في وضع مستقيم في حجرة الرش، واستخدم الفوهة لرش سائل التنظيف على سطح الرقاقة لإزالة الملوثات.
أهمية تنظيف القوارب:
- ضمان نظافة الرقاقة: يعد سطح الرقاقة النظيف أمرًا بالغ الأهمية لجودة تصنيع رقائق أشباه الموصلات، ويلعب قارب التنظيف دورًا حيويًا في عملية التنظيف.
- التأكد من موثوقية رقائق أشباه الموصلات: التأكد من موثوقية الرقائق وتقليل عيوب المنتج عن طريق إزالة الملوثات السطحية.
- تحسين إنتاجية رقائق أشباه الموصلات: تحسين نظافة الرقائق، وبالتالي تحسين إنتاجية رقائق أشباه الموصلات.
الوسم : قارب تنظيف رقاقة الكوارتز، الصين قارب تنظيف رقاقة الكوارتز المصنعين والموردين والمصنع
إرسال التحقيق
قد يعجبك ايضا
