الصفحة الرئيسية - منتجات - موصلات شبه - شركات النقل الكوارتز - تفاصيل

قارب تنظيف الويفر الكوارتز

قارب تنظيف رقاقة الكوارتز هو جهاز يستخدم لتنظيف الرقاقة في عملية تصنيع أشباه الموصلات .
المادة: 99.99 ٪ من الزجاج الكوارتز المنصهر (Sio₂)
التقنية: القطع ، التلميع ، الحفر ، الحفر ، إلخ .
الحجم: مخصص
MOQ: 1 PCS

إرسال التحقيق

الوصف

سمات

① مقاومة ارتفاع درجة الحرارة
② مقاومة التآكل
③ ارتداء المقاومة
④ سهل التنظيف

يستخدم

إزالة الملوثات السطحية
تأكد من جودة تصنيع رقائق أشباه الموصلات .

طلب

تنظيف ما قبل الانتشار

تستخدم لنقل الرققات من خلال مقعد الرطب أو خطوات تنظيف الغمر (e . g . ، تنظيف RCA) لإزالة الملوثات العضوية والمعدنية والجسيمية قبل اختلاف أو أكسدة في درجة الحرارة العالية.

تنظيف ما بعد CMP (مستوية ميكانيكية كيميائية)

يحمل رقاقات أثناء التنظيف بعد التوحيد للتخلص من بقايا الملاط والعيوب السطحية ، مما يضمن التسطيح الأمثل لخطوات الطباعة الحجرية اللاحقة .

الواجهة الأمامية (FEOL) تصنيع

تستخدم في مراحل تنظيف FEOL الحرجة حيث تكون الأسطح الفائقة المطلوبة لنمو أكسيد البوابة ، أو الترسب الفوقي ، أو زرع أيون .

معالجة نهاية الخط (BEOL)

يدعم الرقاقات أثناء تنظيف ما بعد الحفر أو ما بعد التراجع لإزالة مقاوم الضوء ، والمنتجات الثانوية ، والشوائب المعدنية بعد تكوين التوصيل .

العبوة المتقدمة

يسهل التنظيف على مستوى الويفر قبل التزوير أو الترابط في عبوة 2. 5d/3d IC ، مما يضمن واجهات خالية من التلوث للوصلات المترابطة الموثوقة.

التصنيع الضوئي

تستخدم في إنتاج الخلايا الشمسية لتنظيف ركائز السيليكون ، مما يعزز جودة السطح لتحسين امتصاص الضوء وكفاءة تحويل الطاقة .

ملكيات

الخصائص الفيزيائية	قيم
نقاء	＞99.99%
كثافة	2.2 جم/سم³
الشفافية	＞90%
صلابة موس	5.5--6.5
نقطة التشوه	1280 درجة
نقطة تليين	1750 درجة
نقطة الصلب	1250 درجة
حرارة محددة (20 - 350 درجة)	670J/kg . درجة
الموصلية الحرارية (20 درجة)	1 . 4w/m. درجة
الموصلية الحرارية (w/m . k ، 1000 درجة)	1.0-1.2
مؤشر الانكسار	1.4585
معامل التمدد الحراري	5.510 ^-7cm/cm . درجة
درجة حرارة العمل الساخنة	1750 ~ 2050 درجة
درجة حرارة الخدمة قصيرة الأجل	1450 درجة
درجة حرارة الخدمة الطويلة	1100 درجة

الخصائص الكيميائية	قيم
مقاومة الحمض	حمض قوي (باستثناء HF) ، القلوية القوية ، الحل العضوي
ارتفاع درجات الحرارة المقاومة للتآكل	ممتاز
محتوى الشوائب المعدنية	＜ 5 جزء في المليون

الخصائص الكهربائية	قيم
المقاومة	710⁷ω . cm
قوة العزل	250 ~ 400kV/cm
ثابت العزل الكهربائي	3.7~3.9
معامل الامتصاص العازلة	＜410-4
معامل الخسارة العازلة	＜110-4

الخصائص الميكانيكية	قيم
قوة الضغط	1100MPA
قوة الانحناء	67MPA
قوة الشد	48MPA
نسبة بواسون	0.14~0.17
معامل يونغ	72000MPA
معامل القص	31000MPA

طرق التنظيف

تنظيف . غمر:
ضع رقاقة في قارب التنظيف ، ثم يغمر قارب التنظيف في سائل التنظيف ، وزيادة التلامس بين سائل التنظيف وسطح الرقاقة عن طريق رفع قارب الرقاقة لتحسين تأثير التنظيف .

B . تنظيف الرش:
قف على قارب التنظيف منتصبًا في غرفة الرش ، واستخدم الفوهة لرش سائل التنظيف على سطح الرقاقة لإزالة الملوثات .

C . أهمية قوارب التنظيف:
① تأكد من نظافة الرقاقة: يكون سطح رقاقة نظيف أمرًا ضروريًا لجودة تصنيع رقائق أشباه الموصلات ، ويلعب قارب التنظيف دورًا حيويًا في عملية التنظيف .
② ضمان موثوقية رقائق أشباه الموصلات: تأكد من موثوقية الرقائق وتقليل عيوب المنتج عن طريق إزالة ملوثات السطح .
③ تحسين محصول رقائق أشباه الموصلات: تحسين نظافة الرقاقات ، وبالتالي تحسين محصول رقائق أشباه الموصلات .